三星制造出首个10nm以下DRAM工程裸晶
2026-04-28
来源:芯智讯
根据韩国媒体The Elec报导,三星电子已成功制造出全球首款制程低于10nm级的DRAM工程裸晶,代表着内存产业正式突破长久以来的物理极限限制。
长期以来,DRAM产业的微缩技术主要依赖10nm级制程(涵盖1x、1y、1z、1a、1b、1c至1d,19nm-10nm之间)。如今,三星正全力开发全新的“10a”制程技术。市场分析指出,10a制程将使线宽进一步缩小至9.5到9.7nm之间,成为业界首个跨入10nm以下(sub-10nm)制程技术。日前,三星已经10a制程生产晶圆后,在检查裸晶特性时成功确认了工程裸晶的诞生,目前正计划通过调整制程条件来迅速提升并确保良率。
报道表示,这项革命性突破的两大核心技术,在于首度应用了“4F²单元结构(4F Square Cell Structure)”以及“垂直信道晶体管(VCT,Vertical Channel Transistor)”制程。目前的DRAM产品普遍采用6F结构(即3F×2F的长方形内存块),而全新的4F结构则转变为更紧凑的方形设计(2F×2F)。仅通过这项结构上的改变,就能将每个集成电路的单元密度大幅提升30%至50%,这不仅能提供更庞大的储存容量,更能有效节省功耗。

此外,新款DRAM在材料应用上也有所革新,舍弃了过去产品使用的硅,转而采用铟镓锌氧化物(IGZO)等新型材料。由于新世代的内存单元更为狭窄,导入IGZO能有效减少漏电问题,确保数据的良好保存性。
根据三星的发展蓝图,搭载这些新变革的10a DRAM预计将于2026年完成开发,并计划于2028年量产。4F新结构将在10a世代率先采用,并于未来的10b与10c世代中持续优化。而后续的“10d”世代DRAM则预计将全面迈入“3D DRAM”技术领域,并计划于2029至2030年间问世。
至于,在市场竞争态势方面,三星的竞争对手美光(Micron)目前选择暂停其4F计划,决定直接等待未来的3D DRAM技术。与此同时,缺乏先进光刻设备的中国制造商在生产3D DRAM上将面临不小的挑战。不过,由于3D DRAM的设计可能与3D NAND有相似之处,这为中国厂商保留了提升制程的一线生机。

